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掩膜分析模拟工具套件

Empyrean EmapFPD
      EmapFPD工具提供Mask高级分析模拟功能,包括Exposure Analysis分析,MRC检查,Split Panel,马赛克分析以及Job File工具等。

  • EmapFPD-EA(Exposure Analysis):曝光分析工具,避免版图设计在Photo流程中出错;
  • EmapFPD-MRC(Mark Rule Check):Mark设计规则检查工具,避免版图上的Mark丢失或净空区出错,如图示2所示;
  • EmapFPD-SP(Split Panel):版图切割工具,切割Panel版图产生不同Shot的Mask版图,包含Split Panel和马赛克分析等工具;
  • Split Panel:版图切割工具。用以切割Panel版图成不同Shot的Mask版图。在Split Panel中有选项可以调用Mosaic Analysis工具。
  • Mosaic Analysis:用以在切割线周围为AA array的每个Shot分别创建随机的马赛克cells。
  • EmapFPD-Job File:Job File自动提取工具,根据用户的Excel模板自动提取缩略图,创建不会失真的矢量图并插入Excel表格中,自动提取Mark坐标,自动填写表格内容,极大提高工艺文件提取效率。

亮点

  • 支持Mark设计规则及净空区检查
  • 支持切割0宽度Path
  • 支持重复切割区
  • 支持对Array进行切割,结果保持Hierarchy,自动创建Cells
  • 支持创建IPS等异型结构的Mosaic
  • 支持Mosaic和Subpixel Outline错位,可以使切割部位错开图形,提高良率
  • 支持基于关键词的工艺模板技术
  • 支持基于矢量图的缩略图
  • 全自动根据模板提取数据,填写工艺文件
相关下载
  • 掩膜分析模拟工具套件datasheet
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