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掩模版数据处理验证分析平台

Empyrean GoldMask

  Empyrean GoldMask®是一个掩模版数据处理与验证分析平台,共包含三款工具:Empyrean GoldMask® Fracture、Empyrean GoldMask® MRC、Empyrean GoldMask® Viewer。它提供了强大的工具套件,主要用于版图数据切割转档、掩模版数据验证、掩模版数据查看与分析等方面。

  Empyrean GoldMask® Fracture能够将版图数据转换为掩模版生产机台可识别的数据格式,为版图数据切割及转档提供了准确且快速的解决方案。能够支持的输入文件类型包括GDSII、OASIS和MEBES,输出文件类型包括MEBES等。在转档过程中,可以同步进行一元运算、二元运算及转换操作。此外,该软件还支持XOR功能以验证数据转换的准确性。

  Empyrean GoldMask® MRC为掩模版规则检查提供了解决方案,以确保Mask中的图形能够适应掩模版制造工艺。该工具支持对单层或多层掩模版图形进行Width/Space检查、Notch检查、Point Distance检查等,还支持多层版图间的逻辑运算。

  Empyrean GoldMask® Viewer是一款便利的掩模版数据查看与分析工具。该工具支持对掩模版数据进行快速读取、查看、分析,提供了灵活的掩模版图形自动测量功能,以及图形密度计算、掩模版数据比对、芯片交叠检查等分析能力。 Empyrean GoldMask® Viewer主要用于掩模版实际生产前的数据检查分析,可以产生掩模版检测阶段的参考数据,为掩模版数据分析提供了完备且高效的解决方案。

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  • 掩模版数据处理验证分析平台 Empyrean GoldMask
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